<del id="hq3aj"></del>
<rp id="hq3aj"></rp>
      • 1
      • 2
      • 3
      • 4
      產(chǎn)品分類(lèi)

      PRODUCT CENTER

      聯(lián)系我們
      中國上海聯(lián)系人:鄭茂興(銷(xiāo)售部 )
      聯(lián)系電話(huà):021-5916 7109
                          021-5916 6137
      傳真號碼:021-5916 6967
      移動(dòng)電話(huà):134 8253 0703
      移動(dòng)電話(huà):189 1651 2119
      網(wǎng)址:
      www.hbtnfz.com
      Email:chinasales@chemat.com
      產(chǎn)品資料

      膜厚測試儀器-橢偏儀

      如果您對該產(chǎn)品感興趣的話(huà),可以
      產(chǎn)品名稱(chēng): 膜厚測試儀器-橢偏儀
      產(chǎn)品型號: SE-VM
      產(chǎn)品展商: 其它品牌
      產(chǎn)品文檔: 無(wú)相關(guān)文檔

      簡(jiǎn)單介紹

      本設備基于雙旋轉補償器調制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜,可實(shí)現基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數的快速分析表征。


      膜厚測試儀器-橢偏儀  的詳細介紹

      一、目的

      本設備基于旋轉補償器調制技術(shù)一次性獲取Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜,可實(shí)現基底上單層到多層薄膜的膜厚、光學(xué)常數的快速分析表征。

      二、測量系統規格

      SE-VM光譜橢偏儀技術(shù)參數

      1. 橢偏儀測頭規格:

      1. 光譜范圍:380-1000nm可擴展紅外波段至1650nm

      2. 入射角:55/60/65/70/75°(斜入射,手動(dòng)變角),90°(直通模式)

      3. 斑大?。?/span>2-3mm,(可擴展微光斑200μm

      4. 重復性測量精度:0.01nm100nm 硅基SiO2薄膜)

      5. 膜厚測量范圍:0.5nm-20μm

      6. 單點(diǎn)測量時(shí)間:0.5-5s

      7. 光源:高性能進(jìn)口光源(工作壽命:2,000h

      8. 可視化樣品顯微對準系統

         

        1光譜橢偏測頭原理圖

         

        2  SE-VM光譜橢偏儀實(shí)物圖

         

      1. 樣品臺規格:

      1. 基板尺寸:*大支持樣件尺寸到Ф180mm

      2. Z位移行程0-10mm

      3. 樣件臺俯仰角度> ±2°

      1. 測控與分析軟件

      1. 光譜測量能力:PSI/DELTA橢偏光譜、N/C/S光譜、反射率光譜測量

      2. 數據分析能力:具備單層、多層各向同性/異性膜厚、光學(xué)常數(折射率、消光系數)分析能力

      3. 支持常用光學(xué)常數模型以及常用振子模型(柯西模型、洛倫茲模型、高斯模型等),并支持圖形化多振子混合模型擬合功能

      4. 支持多組分薄膜與體材料光學(xué)常數、組分比例分析功能; 核心算法包含嚴格耦合波模型、等效介質(zhì)模型

      5. 支持用戶(hù)自定義,軟件不限制拷貝數量,支持windows7操作系統

      1. 測控與分析計算機

      1. 操作系統:WIN10  64

      2. CPU處理器:Intel 酷睿I3

      3. 內存:4G

      4. 硬盤(pán):500G

      5. 顯示器:19

      1. 配件

      1. 標準SiO2/Si標樣

      2. 標準安裝工具一套

      1. 環(huán)境要求

      1. 橢偏儀承載臺:尺寸>1.5m(長(cháng))× 1.0 m(寬),承載能力大于50Kg(建議光學(xué)隔振)

      2. 使用溫度范圍:20 ~ 26

      3. 相對濕度:35% ~ 60% RH

      4. 空氣壓力范圍:750~1014 mbar

      5. 潔凈度: Class 10000

      1. 能源要求

      1. 供電電源電壓:220V AC

      2. 正常頻率范圍:49-51Hz

      3. 相電流:有效值小于0.5A220V AC

      4. 功率:小于110 W

      1. 涂裝與表面處理

      1. 涂裝顏色:以黑色為主

      2. 表面處理:鍍化學(xué)鎳、陽(yáng)極處理、烤漆等

      1. 質(zhì)保與售后服務(wù)

      1. 整機硬件質(zhì)保期為12個(gè)月。在質(zhì)保期內出現各類(lèi)故障供方及時(shí)免費維修,對非人為造成的各類(lèi)零件損壞,及時(shí)免費更換

      2. 測控與分析軟件:終身免費升級,數據分析軟件提供不限量拷貝

      3. 為用戶(hù)提供**充分儀器操作與數據分析培訓

      4. 提供12個(gè)月免費數據建模與分析技術(shù)支持,免費期為用戶(hù)提供不限量樣件材料光學(xué)常數標定與模型庫升級服務(wù)

      5. 供方在接到故障報修信息后,供方維修人員12小時(shí)內電話(huà)響應,*晚48小時(shí)內供方服務(wù)工程師進(jìn)行****維修

         

      產(chǎn)品留言
      標題
      聯(lián)系人
      聯(lián)系電話(huà)
      內容
      注:1.可以使用快捷鍵Alt+S或Ctrl+Enter發(fā)送信息!
      2.如有必要,請您留下您的詳細聯(lián)系方式!
      相關(guān)產(chǎn)品
      中文字幕人妻无码系列第三区_国产精品无码免费专区午夜_中文字幕人妻无码一夲道_熟女精品视频一区二区三区